Hitachi / s-5200 / FE-SEM
Wafer . 파우더 필름에 최적 Image
| Resolution |
30kv : 0.5nm 1kv : 1.5nm |
|---|---|
| 배율 |
Low mode : 30x ~ 10k High mode : 1000x ~ 2.000.000x |
| Stage move | X,Y,Z,T,R : Motorizing |
| 샘플교환시간 | 약 15초 |
Wafer 단면 분석 이미지(S-5200)
S-5200(10K)
S-5200(30K)
S-5200(50K)
S-5200(100K)
POWDER 평면 이미지(S-5200)
S-5200(10K)
S-5200(30K)
S-5200(50K)
S-5200(100K)
