Hitachi / s-4700 / FE-SEM
| Resolution |
15kv : 1.5nm 1kv : 2.5nm |
|---|---|
| 배율 | High mode : 30x ~ 500.000x |
| 최대각도 | 45도 |
| Stage move | X,Y,Z,T,R : Motorizing |
| 샘플교환시간 | 약 30초 |
Wafer 단면 분석 이미지(S-4700)
S-4700(10K)
S-4700(30K)
S-4700(50K)
S-4700(100K)
POWDER 평면 이미지(S-4700)
S-4700(10K)
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S-4700(10K)
